靜電放電(ESD) |
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靜電放電會影響電子設備、零件的電氣特性，降低或破壞其效能。也會影響電子系統的正常運轉，造成設備故障或失靈。
帶電的物體表面會吸附並殘留污染物，增加清除困難。空氣中的微粒子一旦被吸附至矽晶片或器件的集成電路表面，會產生程度不一的晶片受損情形，進而導致產品良率降低。
帶電的物體表面會吸附並殘留污染物，增加清除困難。空氣中的微粒子一旦被吸附至矽晶片或器件的集成電路表面，會產生程度不一的晶片受損情形，進而導致產品良率降低。
所有的材料，包括水和空氣中的顆粒，都可以產生靜電放電，也就是俗稱的摩擦生電。而不同材料產生電荷量和材料本身的電阻值、環境相對溼度、接觸面積...等有關係。相對溼度高會減少電荷量的累積。
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材料分類
一、絕緣材料：表面電阻 ≥1×10E11 Ω
可以防止或限制電子流經表面或通過體積的材料，又稱絕緣體。表面可能產生大量電荷，因無法隨意流通，故會長時間停留。
二、導電材料：表面電阻<1×10E4 Ω
導電材料因電組低，故可使電子輕易流經表面或通過體積。當導電材料充電時，電荷會均勻分布在表面。導體摩擦可創造靜電荷，導體與其它導體或地面隔離，靜電荷會留在導體上。若導體接地，則電荷容易流向地面。或者與另一導體接觸，則電荷將會於兩導體之間流動。
三、靜電消散材料：表面電阻介於1×10E5 ~ 1×10E9 Ω
介於絕緣和導電材料之間，電子可流經表面或通過體積，但仍由材料的表面電阻或體積電組所控制。靜電消散材料與導電材料類似，也可藉由摩擦方式產生電荷，並允許電荷轉移至地面或其他導電物體，但電荷轉移的速度比導電材料慢，但比絕緣材料快。
可以防止或限制電子流經表面或通過體積的材料，又稱絕緣體。表面可能產生大量電荷，因無法隨意流通，故會長時間停留。
二、導電材料：表面電阻<1×10E4 Ω
導電材料因電組低，故可使電子輕易流經表面或通過體積。當導電材料充電時，電荷會均勻分布在表面。導體摩擦可創造靜電荷，導體與其它導體或地面隔離，靜電荷會留在導體上。若導體接地，則電荷容易流向地面。或者與另一導體接觸，則電荷將會於兩導體之間流動。
三、靜電消散材料：表面電阻介於1×10E5 ~ 1×10E9 Ω
介於絕緣和導電材料之間，電子可流經表面或通過體積，但仍由材料的表面電阻或體積電組所控制。靜電消散材料與導電材料類似，也可藉由摩擦方式產生電荷，並允許電荷轉移至地面或其他導電物體，但電荷轉移的速度比導電材料慢，但比絕緣材料快。
esds物件敏感度分類
電子工廠根據其所生產製造的靜電敏感裝置、元件之靜電防護要求，設置為標準之EPA。
因此確認產品靜電敏感度是建置ESD控制方案的重要關鍵，唯有充分掌控了ESDS物品之敏感程度，才能制訂ESD控制方案與採取合理的科學防制措施，選擇合適的靜電放電控制流程與材料。其分類包括：
因此確認產品靜電敏感度是建置ESD控制方案的重要關鍵，唯有充分掌控了ESDS物品之敏感程度，才能制訂ESD控制方案與採取合理的科學防制措施，選擇合適的靜電放電控制流程與材料。其分類包括：
- 人體模型(HBM)：人體對電子零件放電。
- 機械模型 (MM)：機械對電子零件放電。
- 充電元件模型(CDM)：電子零件本身放電。
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