程陽有限公司 SUNNY PROCESS CO., LTD.
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首頁  >  技術/專利  >  靜電放電(ESD)

靜電放電(ESD)

貼霸真空吸板--表面阻抗及靜電消散.pdf
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靜電放電會影響電子設備、零件的電氣特性,降低或破壞其效能。也會影響電子系統的正常運轉,造成設備故障或失靈。
帶電的物體表面會吸附並殘留污染物,增加清除困難。空氣中的微粒子一旦被吸附至矽晶片或器件的集成電路表面,會產生程度不一的晶片受損情形,進而導致產品良率降低。
​所有的材料,包括水和空氣中的顆粒,都可以產生靜電放電,也就是俗稱的摩擦生電。而不同材料產生電荷量和材料本身的電阻值、環境相對溼度、接觸面積...等有關係。相對溼度高會減少電荷量的累積。
-
環境相對溼度10% ~ 25%
環境相對溼度65% ~ 90%
行走在地毯上
35K V
1.5K V
行走在塑膠地板上
12K V
0.25K V
在工作臺工作
6K V
0.1K V
從工作臺上拿起塑膠袋
20K V
1.2K V
發泡膠椅
18K V
1.5K V

材料分類​

一、​絕緣材料:表面電阻 ≥1×10E11 Ω 
可以防止或限制電子流經表面或通過體積的材料,又稱絕緣體。表面可能產生大量電荷,因無法隨意流通,故會長時間停留。

二、導電材料:表面電阻<1×10E4 Ω
導電材料因電組低,故可使電子輕易流經表面或通過體積。當導電材料充電時,電荷會均勻分布在表面。導體摩擦可創造靜電荷,導體與其它導體或地面隔離,靜電荷會留在導體上。若導體接地,則電荷容易流向地面。或者與另一導體接觸,則電荷將會於兩導體之間流動。

三、靜電消散材料:表面電阻介於1×10E5 ~ 1×10E9 Ω
介於絕緣和導電材料之間,電子可流經表面或通過體積,但仍由材料的表面電阻或體積電組所控制。靜電消散材料與導電材料類似,也可藉由摩擦方式產生電荷,並允許電荷轉移至地面或其他導電物體,但電荷轉移的速度比導電材料慢,但比絕緣材料快。

esds物件敏感度分類

電子工廠根據其所生產製造的靜電敏感裝置、元件之靜電防護要求,設置為標準之EPA。
因此確認產品靜電敏感度是建置ESD控制方案的重要關鍵,唯有充分掌控了ESDS物品之敏感程度,才能制訂ESD控制方案與採取合理的科學防制措施,選擇合適的靜電放電控制流程與材料。其分類包括:
  1. 人體模型(HBM):人體對電子零件放電。
  2. 機械模型 (MM):機械對電子零件放電。
  3. 充電元件模型(CDM):電子零件本身放電。
由各元件的靜電敏感度不同,其所必須採取的靜電防護。
HBM等級分類
電壓限值(V)
Class 0
< 0.25K
​Class 1A
0.25K ~ 0.5K
​Class 1B
0.5K ~ 1K
​Class 1C
1K ~ 2K
Class 2
2K ~ 4K
Class 3A
4K ~ 8K
​Class 3B
≥ 8K
MM等級分類
電壓限值(V)
Class M1
< 0.1K
​Class M2
0.1K ~ 0.2K
​Class M3
0.2K ~ 0.4K
​Class M4
≥ 0.4K
CDM等級分類
電壓限值(V)
Class C1
< 0.125K
​Class C2
0.125K ~ 0.25K
​Class C3
0.25K ~ 0.5K
​Class C4
0.5K ~ 1K
Class C5
0.5K ~ 1.5K
Class C6
1.5K ~ 2K
​Class C7
≥ 2K
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