程陽有限公司 SUNNY PROCESS CO., LTD.
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首頁  >  貼霸®真空吸板  >  基板保護 / Fan-out(PLP、WLP) / AOI檢測應用 

基板保護 / FAN-out(PLP、WLP) / AOI檢測應用 

貼霸® 針對 AOI 光學檢測固定、玻璃基板 / 晶圓保護搬運及 Fan-out PLP / WLP 先進封裝製程三大應用所研發的專業半導體承載治具解決方案。以真空吸附技術與凡得瓦力原理為核心,提供均勻、無損的基板固定,有效防止位移、刮傷與靜電損傷。

可重複使用且符合 RoHS 2.0、PFOS、PFOA、無鹵素(Halogen Free)環保檢測,並取得 ISO 9001 / ISO 14001 國際品質認證。

您的製程是否也遇到這些問題?
!AOI 檢測時基板偏移、誤報率高
!玻璃基板 / 晶圓搬運途中裂片、刮傷
!殘膠污染降低後段製程良率
!傳統膠帶 / UV 膠耗材成本偏高
!多道製程頻繁換治具效率低落
立即諮詢適合您製程的治具解決方案 →

基板保護

Substrate Protection Carrier

貼霸® 真空吸板可讓玻璃基板、Wafer 晶圓在製程中移轉及運行時,方便固定、防止破裂及變形,確保搬運安全。讓基板在印刷、Die Bonding、高溫製程中,在貼霸® 的支撐下全線完成,分離時不破損,有利實現自動化製程。

產品特點

  • 防止玻璃基板因應力產生裂片
  • 減少製程中因搬運、撞擊造成的損壞
  • 提升減薄與測試良率
  • 真空吸附技術與凡得瓦力原理,搬運穩定不位移
  • 水解離分離,無殘膠、不污染基板表面,可重複使用
貼霸®真空吸板基板保護應用照片

AOI 光學檢測應用

AOI Optical Inspection — Substrate Fixation Solution

在自動光學檢測(AOI)製程中,「位移」與「刮傷」是影響良率的重要因素。貼霸® 真空吸板以真空吸附技術與凡得瓦力原理,為 AOI 提供穩定、安全的基板支撐,有效防止基板在檢測流程中的位移、摩擦與刮傷,確保檢測穩定性與精度,降低誤報率。無論是 PCB、WLP、PLP 或 Fan-out 製程的基板均適用。

產品特點

  • 最大尺寸 620 × 540 mm,支援客製化尺寸
  • 平整度 < 0.05 mm,消除基板翹曲對光學焦距干擾
  • 抗靜電設計,防止線路板靜電損傷
  • 真空吸附技術與凡得瓦力原理,提供柔性固定與防刮保護
  • 耐高溫 260°C,可承受封裝製程溫度

環保認證

RoHS 2.0
PFOS
PFOA
無鹵素 Halogen Free
ISO 9001
ISO 14001

以上環保項目均通過 SGS 第三方驗證。

貼霸®晶片轉移.pdf
File Size: 304 kb
File Type: pdf
下載檔案


三明治晶圓磁吸板

Sandwich Wafer Magnetic Pallet — Fan-out PLP / WLP Advanced Packaging
三明治晶圓磁吸板產品照

三明治晶圓磁吸板是程陽以貼霸® 材料為核心,結合磁吸定位機構與高剛性底板所開發的整合式晶圓承載治具,專為 Fan-out Panel Level Packaging(PLP)/ Wafer Level Packaging(WLP)先進封裝製程設計。

「三明治」結構指上層吸附層、中間貼霸® 緩衝材料、下層剛性底板三層複合疊合,一片治具橫跨多道關鍵製程,無需中途更換,大幅降低換具時間與耗材成本。

1三大功能一次整合

Three-in-One Functional Integration
Magnetic Holding / Vacuum Suction / Planar Support
三明治晶圓磁吸板三層結構示意圖:真空吸附層、磁吸層、平整支撐底板
M
磁吸固定
Magnetic Holding
可拆卸鋼片結構,靈活應用各類製程
V
真空吸附
Vacuum Suction
均勻吸附、無殘膠、可重複使用、降低耗材成本
P
平整支撐
Planar Support
三層複合結構,穩固支撐,防止基板與晶圓翹曲

2環保又高效 Eco-Friendly & High Efficiency

真空+磁吸=雙重穩固、防止基板變形
Vacuum + Magnetic = Dual Stability, No Warping — 消除翹曲,大幅提升製程良率
可重複使用=節省耗材、實現環保製程
Reusable = Reduced Consumables, Greener Process — 取代一次性膠帶,降低耗材成本
三明治結構=靈活支援各種晶圓與基板
Sandwich Structure = Flexible for Various Substrates — 晶圓、玻璃基板、Panel 均適用
耐高溫+抗化學腐蝕=適用多道嚴苛製程
High Temp & Chem Resistant = Multi-Process Compatible — 耐溫 260°C,跨製程使用

3多道製程應用 Multi-Process Application

一片治具橫跨 Fan-out PLP / WLP 全製程,無需中途更換,支援自動化製程全線完成:

G
研磨
Grinding
均勻支撐晶圓,減少翹曲與裂片
B
烘烤
Baking
耐溫 260°C,確保加工時不變形
E
化學蝕刻
Etching
適應各種化學處理環境,不影響吸附效果
D
晶粒貼合
Die Bonding
磁吸精確定位,提升接合良率
T
封裝製程
Transfer Molding
支援高溫高壓下穩定脫模與轉移

4水解離分離技術 Water Debonding Method

完成製程後只需將吸附晶圓的三明治磁吸板放入水中,並從側邊導入氣體,藉由破壞其真空狀態,晶圓即可自然脫離貼霸。無須高溫、無化學藥劑、無損傷、無殘膠,安全又環保。

1
製程完成
三明治晶圓磁吸板,完成所有製程
水解離步驟1:製程完成,晶圓吸附於三明治磁吸板
→
2
入水 / 破真空
放入水中,破除其真空狀態
水解離步驟2:放入水中破除真空狀態
→
3
無損取片
晶圓自然分離,無殘膠、無刮傷
水解離步驟3:晶圓自然分離,無殘膠無刮傷
無高溫 No Heat
無化學藥劑 No Chemicals
無損傷 No Damage
可重複使用 Reusable

相較於熱分離(需高溫設備)、UV 分離(光源成本高)及溶劑分離(化學品危害與環保問題),水解離製程成本最低、操作最安全,對基板應力最小,完全符合 RoHS 2.0 環保規範。



Q常見問題 FAQ

Q 貼霸® 真空吸板與三明治晶圓磁吸板,我的製程應該選哪一個?
兩者的核心差異在於應用場景與固定機制:

貼霸® 真空吸板適合 AOI 光學檢測固定,以及玻璃基板、晶圓在製程間的保護搬運。以真空吸附技術與凡得瓦力原理為主,最大尺寸 620 × 540 mm,平整度 < 0.05 mm,適用各種形狀基板。

三明治晶圓磁吸板適合 Fan-out PLP / WLP 先進封裝多道製程(烘烤、蝕刻、Die Bonding、Transfer Molding),整合磁吸 + 真空 + 平整支撐三大功能,以晶圓承載為主要設計,搭配水解離無殘膠分離技術。

若同時有 AOI 檢測與封裝製程需求,兩者可搭配使用。建議填寫詢價表,由技術團隊依您的製程評估最適方案。
Q 水解離(Water Debonding)分離後基板表面會有殘膠嗎?
完全不會。貼霸® 水解離技術靠材料本身的物理特性遇水鬆脫,不依賴任何黏膠或化學介質,分離後基板表面零殘膠、零損傷,無需額外清洗即可直接進入下一道製程。相較傳統膠帶需溶劑去除、UV 膠需照射設備,水解離成本最低、最環保,完全符合 RoHS 2.0 規範。
Q 三明治晶圓磁吸板適用 Transfer Molding 封裝製程嗎?耐溫夠嗎?
適用。三明治晶圓磁吸板標準規格耐溫 260°C,可承受 Fan-out PLP / WLP 製程中的 Baking(烘烤)與 Transfer Molding(轉移成型)高溫高壓作業。高剛性底板提供均勻支撐力,抵抗注膠壓力,確保成型後 Package 厚度一致,無翹曲缺陷。如有特殊溫度或壓力需求,建議聯繫程陽技術團隊進行客製化評估。
Q 貼霸® 真空吸板最大 620 × 540 mm,是否支援客製化尺寸?
620 × 540 mm 是標準最大規格,在此尺寸範圍內,形狀不受限制,方形、圓形或其他客製輪廓均可製作。程陽提供完整客製化服務,可依客戶設備規格調整外形尺寸、開孔配置與吸附區域。有客製化需求請填寫詢價表,技術團隊將在 2 個工作日內回覆。
Q 治具可以重複使用嗎?與傳統一次性膠帶相比有什麼優勢?
貼霸® 真空吸板與三明治晶圓磁吸板均設計為可重複使用,相較於傳統一次性膠帶或 UV 膠有以下優勢:

水解離分離後無殘膠,治具清洗後即可直接再次使用,無需額外清潔耗材;長期使用可大幅降低耗材採購成本;符合 ISO 14001 環境管理精神,減少廢棄物產生。具體壽命依製程條件與清潔維護方式而定,建議填寫詢價表由技術團隊評估。
Q 抗靜電設計對 ESD 敏感元件有保護效果嗎?
貼霸® 材料本身具靜電消散性(Electrostatic Dissipative),能有效避免靜電在治具與基板介面之間累積,防止靜電放電(ESD)對 IC 線路板、晶圓上電子元件的損傷。特別適合在 AOI 檢測與 Die Bonding 等對 ESD 高度敏感的製程步驟中使用,保護元件安全,維持製程良率。
有製程問題?歡迎直接諮詢
程陽有限公司 — 專業半導體承載治具解決方案,符合 SGS 的 RoHS 2.0、PFOS、PFOA、無鹵的環保檢測。
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